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【商品名称】：TG2U型光刻机
【商品规格】：TG2U
【商品简介】：
产品特点：
TG2U型光刻机是制造中，大规模集成电路，传感器，表面波元件，磁泡，微波和CCD等器件的重要光刻设备。
欢迎您联系我们获得光刻机(TG2U型)的更多信息。
【备 注】：
TG2U型光刻机主要技术参数见下表：
项目
参数
适用的掩模尺寸
a.100X100X2-3mm；b.75X75X2—3mm；c.63X63X2—3(选购)；
适用的硅片尺寸
φ35—75mm
光刻图形线条
3-4μm, 最细可达2μm
掩模与硅片之间的相对位移范围
X/Y±2.5mm,(族转) ±6°
承片台(硅片)绕主轴旋转
粗调360度,可微调
承片工作台综合移动范围
X,Y合成φ75mm
承片台的球座平面至掩模板面升降
0—7.5mm
曝光灯源
GCQ200W超高压汞灯，曝光波长，300―436nm
曝光系统能量不低于
7mw
曝光系统的照度均匀度在φ75mm范围内
±5%
显微镜的照明波长
≈545nm
曝光时间控制范围
0.1秒—99分
双目显微镜的放大倍数
a.目镜共二种:10X,16X；b.平视场物镜共三种:6X,9X,15X；c.合成放大倍率:60X—240X；
真空接触压力
≥0.7kgf
装箱尺寸
1000X850X980mm(2只)
装箱重量
200kg
注：用户有何特殊要求可协商。
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