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| 公司基本信息 |
| 产品用途: 该扩散炉具有四套独立的工艺炉管。供太阳能电池片生产线 上156mm×156mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用。 主要特点: 1.关键件全部采用进口件,具有高可靠性。 2. 采用进口智能控制器,可输出四个开关量,对炉温、阀门动作 进行自动控制,并管理全部工艺时序,可编辑存贮十条工艺曲 线。具有高抗干扰能力。 3. 具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。 4. 具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。 5. 控温精度好,温区控温稳定性好。 6. 新型炉体设计结构,保证工艺过程中温区温度的快速稳定,更 适合于连续性大规模生产。 7.闭管式扩散系统更洁净、更环保。 技术指标: 适用硅片尺寸:156mm×156mm 装片量:400片/管 可配工艺管外径:φ300mm 工作温度范围:600~1100℃ 恒温区长度:600~1100℃ 精度精度: ±1℃ 单点温度稳定性:600~1100℃ ±1℃/24h 升温时间:从室温到900℃<60min 最大降温速度(1100~900℃):5℃/min |
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